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簡(jiǎn)要描述:可編程精密不銹鋼勻膠機,采用高精度工業(yè)伺服電機,配置8英寸人機界面,清晰的編程程序界面設置,易學(xué)易用。是半導體行業(yè)專(zhuān)用儀器設備。適合半導體行業(yè)及科研院所,實(shí)驗室級的研究開(kāi)發(fā)。適合8英寸及以下尺寸晶元旋涂,可編程不銹鋼勻膠機是一種小型、靈活和經(jīng)濟的旋轉勻膠設備,它可以實(shí)現價(jià)值百萬(wàn)美元設備(track)的上才可能達到穩定性和均勻性。
產(chǎn)品分類(lèi)
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產(chǎn)品介紹:
名 稱(chēng):可編程不銹鋼勻膠機
型 號:HC220PE
應 用:HC220PE可編程不銹鋼勻膠機,采用高精度工業(yè)伺服電機,配置8英寸人機界面,清晰的編程程序界面設置,易學(xué)易用。適合半導體行業(yè)及科研院所,實(shí)驗室級的研究開(kāi)發(fā)。適合8英寸及以下尺寸晶元旋涂,是一種小型、靈活和經(jīng)濟的旋轉勻膠設備,它可以實(shí)現價(jià)值百萬(wàn)美元設備(track)的上才可能達到穩定性和均勻性。
產(chǎn)品概述:
HC220PE可編程不銹鋼勻膠機,采用高級PLC 模塊,工業(yè)級伺服電機,全自動(dòng)程序控制,轉速精度高,穩定性好??捎糜谖㈦娮?、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。
設備采用工業(yè)級別200瓦伺服電機系統,采用與track設備相同設計和程序,使您的工藝更具有實(shí)際應用意義;同類(lèi)產(chǎn)品中達到50000RPM/S的旋轉加速度,確保旋轉勻膠的穩定性和可重復性。
性能參數:
l 旋涂程序:采用與track設備類(lèi)似的程序與設計,最多可存100組程序,每組100步,每個(gè)步驟可精確到0.1秒;
l 電機速度:0-10,000rpm;
l 旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載);
l 馬達旋涂轉速穩定性能誤差 < ±1rpm;
l 轉速調節精度<1rpm;
l 重復性< 1rpm;
l 工藝時(shí)間設定: 0-3,000 sec/step;
l 時(shí)間設置精度:0.1sec;
l 支持wafer尺寸1cm-200mm(8"圓晶);
l 旋涂作業(yè)均勻性:< ±3% 在6英寸范圍內(需要去除邊緣3毫米區域測量);
產(chǎn)品特點(diǎn):
l 用高級PLC模塊,工業(yè)級伺服電機;
l 8英寸彩色觸屏控制,人機界面;
l HDPE高分子內腔,耐腐蝕,易清潔,帶排廢功能;
l內腔壁采用凹面設計,有效防濺;
l可編程寫(xiě)和存儲100組程序,每組100步;
l帶真空度安全互鎖檢測功能;
l帶蓋子安全互鎖檢測功能;
l帶排廢接口;
l具有電機進(jìn)膠保護功能;
l管路易疏通設計;
l具有真空不足提示及保護功能,具有斷電后參數自動(dòng)保存功能;
l正、反轉旋涂方向可自由切換;
l旋涂參數可設置循環(huán)執行;
l速度-時(shí)間曲線(xiàn)實(shí)時(shí)顯示;
l配置四個(gè)自動(dòng)點(diǎn)膠接口,可升級多路自動(dòng)點(diǎn)膠系統;
l可設置用戶(hù)密碼保護功能;
l配置可調基座,方便調節水平;
不同尺寸的載物盤(pán)
產(chǎn)品外型尺寸:
444mm(D) * 300mm(W) * 300mm(H)
產(chǎn)品咨詢(xún)
郵箱:info@analysis-tech.com
地址:北京市海淀區建材城中路3號樓程遠大廈B座606
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