當前位置:首頁(yè) >產(chǎn)品中心>半導體前處理>安賽斯勻膠機/旋涂?jì)x>HC150PE不銹鋼勻膠機150PE
簡(jiǎn)要描述:不銹鋼勻膠機HC150P:E可編程勻膠機,采用分體式結構設計,高分子HDPE耐腐蝕內腔,4.3英寸觸摸屏,工業(yè)級直流電機及高級PLC控制,直觀(guān)清晰的程序界面與設計,美觀(guān)大方。適合涂膠處理Ø 5~150mm圓晶尺寸基片。 不銹鋼勻膠機HC150PE:該勻膠機結構緊湊、簡(jiǎn)單易用,可編程實(shí)現單步旋涂和多步編程旋涂,尺寸小巧,可放入手套箱內操作。HDPE高分子材料旋涂?jì)惹?,美觀(guān)耐腐蝕,經(jīng)久耐用。
產(chǎn)品分類(lèi)
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產(chǎn)品介紹:
名 稱(chēng):不銹鋼勻膠機HC150PE
型 號:HC150PE
應 用:在高速旋轉的基片上,滴注各類(lèi)膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時(shí)間有關(guān)。
產(chǎn)品概述:
不銹鋼勻膠機HC150PE 可編程勻膠機,采用分體式結構設計,高分子HDPE耐腐蝕內腔,4.3英寸觸摸屏,工業(yè)級直流電機及高級PLC控制,直觀(guān)清晰的程序界面與設計,美觀(guān)大方。適合涂膠處理? 5~150mm圓晶尺寸基片。
該勻膠機結構緊湊、簡(jiǎn)單易用,可編程實(shí)現單步旋涂和多步編程旋涂,尺寸小巧,可放入手套箱內操作。HDPE高分子材料旋涂?jì)惹?,美觀(guān)耐腐蝕,經(jīng)久耐用。
性能參數:
適用晶元尺寸范圍:? 5~150mm;
旋涂速度:100~12000rpm;
轉速分辨率:1rpm;
旋涂加速度:100-30000rpm/s;
最大旋涂時(shí)間:3000s;
旋涂時(shí)間精度:0.1s;
內腔直徑212mm,內腔采用凹面防濺設計;
具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,每組程序10步;
電源輸入:AC200-230
產(chǎn)品特點(diǎn):
設計緊湊,可輕松放置在手套箱內使用;
HDPE高分子材料旋涂?jì)惹?,耐腐蝕;
采用分體式結構,易清潔和移動(dòng);
4.3英寸彩色觸屏控制,易學(xué)易用;
精確設置實(shí)驗參數,運行狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示;
經(jīng)CNC一體加工成型的HDPE內腔,內腔壁采用凹面設計,有效防濺;
采用高級PLC程序控制,可編程,實(shí)現快速旋涂和多步編程旋涂;
具有電機進(jìn)膠保護功能;管路易疏通設計;
具有真空不足提示及保護功能,具有斷電后參數自動(dòng)保存功能。
可設置用戶(hù)密碼保護功能;
帶真空度安全互鎖檢測功能;
帶一路自動(dòng)點(diǎn)膠接口,可升級自動(dòng)點(diǎn)膠系統;
HDPE高分子耐腐蝕內腔
不同尺寸的載物盤(pán)
不銹鋼勻膠機HC150PE產(chǎn)品外型尺寸:
310mm(D)*254mm(W)*250mm(H)
產(chǎn)品咨詢(xún)
郵箱:info@analysis-tech.com
地址:北京市海淀區建材城中路3號樓程遠大廈B座606
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